ピエゾ素子とは
ピエゾ素子とは、電気エネルギーを変位や力といった機械的エネルギーに変換する素子です。 ピエゾ素子は逆圧電効果をもったセラミックでできており、
セラミックに電気を印加することにより、セラミックを膨張させます。膨張量は、積層型のピエゾ素子の場合一般的には積層の長さの 0.1%(100mm の
長さの場合 100μm の膨張量)になります。 位置決めに使用する際には、クリーピング・ヒステリシスというピエゾ特有の現象がございますので、
静電容量センサー等の変位計とともに使い、クローズドループにすることで、2つの特有の現象を、無視してお使いいただけます。
当社製品はこの原理を用いて、以下の用途(一例)に御使用いただいております。
・ ナノメートルオーダーの位置決め
(各種プローブの位置決め・光学部品の位置決め・半導体製品の位置決め
加工用バイトの位置決め・細胞等のサンプルの位置決め、)
・ 高繰り返し(高周波数)が必要な用途
(高速クキャニング・機械振動に合わせた、物体の位置制御等)
・ 数トンに及ぶ発生力が必要で、その力の制御に高分解能が必要な用途(精密加工等)
・ 力検出
当社では、お客様の設備・製品に組み込みを容易にさせて頂くため、ピエゾ素子のほか、
ピエゾ素子をケースに組み込み取り付け用のタップを切ったアクチュエーターやピエゾ素子をステージに組み込んだピエゾステージを用意させて頂いております。