ピエゾ素子とは

 

ピエゾ素子とは、電気エネルギーを変位や力といった機械的エネルギーに変換する素子です。 ピエゾ素子は逆圧電効果をもったセラミックでできており、
セラミックに電気を印加することにより、セラミックを膨張させます。膨張量は、積層型のピエゾ素子の場合一般的には積層の長さの 0.1%(100mm
長さの場合 100μm の膨張量)になります。 位置決めに使用する際には、クリーピング・ヒステリシスというピエゾ特有の現象がございますので、
静電容量センサー等の変位計とともに使い、クローズドループにすることで、2つの特有の現象を、無視してお使いいただけます。

 

当社製品はこの原理を用いて、以下の用途(一例)に御使用いただいております。

  ナノメートルオーダーの位置決め

    (各種プローブの位置決め・光学部品の位置決め・半導体製品の位置決め

      加工用バイトの位置決め・細胞等のサンプルの位置決め、)

  高繰り返し(高周波数)が必要な用途

    (高速クキャニング・機械振動に合わせた、物体の位置制御等)

  数トンに及ぶ発生力が必要で、その力の制御に高分解能が必要な用途(精密加工等)

  力検出

 

当社では、お客様の設備・製品に組み込みを容易にさせて頂くため、ピエゾ素子のほか、

ピエゾ素子をケースに組み込み取り付け用のタップを切ったアクチュエーターやピエゾ素子をステージに組み込んだピエゾステージを用意させて頂いております。

 
 
 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


 

 

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